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當前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 質(zhì)量流量控制器 > 氣體質(zhì)量流量控制器
  • 氣體流量控制器
    氣體流量控制器

    更新時間:2024-06-25

    型號:

    瀏覽量:1374

    氣體流量控制器支持數(shù)字量輸入/輸出,設(shè)備自體可帶多功能觸摸顯示屏,亦可采用流量計算機控制和顯示流量,可以提供帶有可選配的多介質(zhì)/多量程的功能。
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  • GRYLLS 5950高精度質(zhì)量流量控制器
    GRYLLS 5950高精度質(zhì)量流量控制器

    更新時間:2024-08-06

    型號:GRYLLS 5950

    瀏覽量:2777

    GRYLLS 5950系列高精度質(zhì)量流量控制器參數(shù) 0.5sccm – 6000 slm 全量程Grylls5950系列質(zhì)量流量控制器支持數(shù)字量輸入/輸出,設(shè)備自體可帶多功能觸摸顯示屏,亦可采用流量計算機控制和顯示流量,可以提供帶有可選配的多介質(zhì)/多量程的功能。
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  • 5901熱式GRYLLS格里爾斯氣體測試質(zhì)量流量控制器
    5901熱式GRYLLS格里爾斯氣體測試質(zhì)量流量控制器

    更新時間:2024-07-11

    型號:5901熱式

    瀏覽量:3652

    GRYLLS格里爾斯氣體測試質(zhì)量流量控制器 采用熱式原理,預(yù)熱時間短,精度高,零飄小,管狀分流,不易堵塞,適用于各種低壓和高壓管道,流量可達6000SLM,并可實現(xiàn)數(shù)字/模擬控制模式,產(chǎn)品采用高速控制算法,0.5sccm – 6000 slm 全量程,支持數(shù)字量輸入/輸出,設(shè)備自體可帶操控按鍵和顯示屏。
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  • 5900熱式Grylls格里爾斯熱式質(zhì)量流量控制器
    5900熱式Grylls格里爾斯熱式質(zhì)量流量控制器

    更新時間:2024-08-06

    型號:5900熱式

    瀏覽量:4151

    Grylls格里爾斯熱式質(zhì)量流量控制器,熱式原理, 0.5sccm – 6000 slm 全量程,支持數(shù)字量輸入/輸出,設(shè)備自體可帶操控按鍵和顯示屏,亦可采用流量計算機控制和顯示流量,可以提供帶有可選配的多介質(zhì)/多量程的功能。預(yù)熱時間短,精度高,零飄小,管狀分流,不易堵塞,適用于各種低壓和高壓管道,流量可達6000SLM,并可實現(xiàn)數(shù)字/模擬控制模式。
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  • GRYLLS5900格里爾斯質(zhì)量流量控制器
    GRYLLS5900格里爾斯質(zhì)量流量控制器

    更新時間:2024-08-06

    型號:GRYLLS5900

    瀏覽量:4843

    格里爾斯質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制,在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括:電子工藝設(shè)備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
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  • 5920氣體質(zhì)量流量控制器
    5920氣體質(zhì)量流量控制器

    更新時間:2024-06-25

    型號:5920

    瀏覽量:1576

    氣體質(zhì)量流量控制器采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量,不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大,然后與設(shè)定的電壓進行比較,用所得的差值去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
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  • 5950高精度質(zhì)量流量控制器
    5950高精度質(zhì)量流量控制器

    更新時間:2024-06-25

    型號:5950

    瀏覽量:1401

    GRYLLS(格里爾斯)高精度質(zhì)量流量控制器由質(zhì)量流量傳感器,層流分層件,流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成,它利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成。
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  • 質(zhì)量流量控制器
    質(zhì)量流量控制器

    更新時間:2024-06-25

    型號:

    瀏覽量:1404

    Grylls8100科氏力質(zhì)量流量控制器 將這項技術(shù)應(yīng)用于非常低的流量測量,并且內(nèi)部集成PID控制器和批量功能,實現(xiàn)流量控制或者定量給料。
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