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質(zhì)量流量控制器

氣體質(zhì)量流量控制器差壓式質(zhì)量流量控制器科里奧質(zhì)量流量計流量控制器熱式流量控制器

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GRYLLS66006600微小流量質(zhì)量流量控制器

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更新時間：2024-06-25

型號：5930DD4

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差壓式液體流量控制器因其測量精確性和不受流體特性影響的特征而備受推崇。ACU20FE將這項技術(shù)應(yīng)用于非常低的流量測量，并且內(nèi)部集成PID控制器和批量功能，實現(xiàn)流量控制或者定量給料。
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5951DD4格里爾斯科氏氣體流量控制器

更新時間：2024-06-25

型號：5951DD4

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格里爾斯科氏氣體流量控制器它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器
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微小流量質(zhì)量流量控制器

更新時間：2024-06-25

型號：

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GRYLLS 5950質(zhì)量流量控制器

更新時間：2024-06-25

型號：GRYLLS 5950

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GRYLLS 5950 質(zhì)量流量控制器采用熱式原理，預(yù)熱時間短，精度可達0.5%F.S.，零飄小，管狀分流，不易堵塞，適用于各種低壓和高壓管道，流量可達6000SLM,并可實現(xiàn)數(shù)字/模擬控制模式
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GRYLLS5950高精度質(zhì)量流量控制器

更新時間：2024-06-25

型號：

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GRYLLS 5950高精度質(zhì)量流量控制器采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設(shè)定的電壓進行比較，用所得的差值去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
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